타이완 반도체 기업 TSMC 2나노미터(㎚) 최첨단 생산기술이 외국 장비업체에 유출 수사에서 일본과 한국 장비업체가 거론됐다. 사진은 TSMC 로고. /사진=로이터


타이완 반도체 기업 TSMC 2나노미터(㎚) 최첨단 생산기술이 외국 장비업체에 유출된 정황 밝혀져 현지 당국이 수사에 나섰다. TSMC 직원 3명이 체포됐으며 일본 반도체 장비업체 도쿄 일렉트론도 수사 대상에 포함됐다.


6일 일본 매체 도요게이자이에 따르면 타이완 고등검찰서는 지난 5일 국가 핵심 기술을 부정한 방식으로 외부에 넘긴 TSMC 직원 3명을 국가안전법 위반 혐의로 구속했다. 해당 기술은 타이완 북서부에 위치한 첨단 산업단지인 신주 사이언스파크 내 TSMC 팹20 공장에서 사용 중인 2나노 생산 기술이다.

해당 사건은 TSMC가 내부 조사로 밝혀낸 후 수사당국에 신고했다. 지난달 전직 직원을 포함해 복수 직원에 대한 체포와 자택 수색이 실시됐고 이들 3명이 체포됐다.


타이완 매체들은 TSMC 직원이 해당 기술을 외국계 장비업체 엔지니어에게 제공했고 해당 엔지니어는 이후 회사에서 퇴사했다고 보도했다. 이 엔지니어도 수사 대상에 포함됐다. 도쿄 일렉트론 신주 사이언스파크 사무소도 검찰 수사 선상에 올랐다.

현재 2나노 반도체 양산 기술은 TSMC가 선두다. 경쟁사인 한국 삼성전자와 미국 인텔 등도 양산화를 진행 중이다. 일본에서는 정부가 2조엔(약 18조8042억원)을 지원하는 국책 반도체 기업 '라피더스'가 2나노 반도체 양산을 목표하고 있다.


타이완 매체인 자유시보는 지난 2개월 사이 유사 사건 7~8건이 수사 중이며 일본과 한국 장비업체들이 연루됐다고 보도했다. 구체적으로 어떤 장비 제조업체인지 밝히지 않았지만 "일본 국가 프로젝트에 해당하는 신생 기업이 현재 2나노 양산 준비를 진행 중"이라며 "(수사 대상이 된) 장비 제조업체가 이 신생 기업 장비 공급처이기 때문에 기술이 이 기업으로 유출된 것인지가 업계에서 논의되고 있다"고 보도했다.

신생 기업은 라피더스, 장비 제조업체는 도쿄 일렉트론을 뜻한다. 라피더스가 2나노 양산을 준비 중이기에 TSMC 기술이 도쿄 일렉트론을 거쳐 라피더스로 흘러갔을 가능성이 거론되고 있다.


이에 도쿄 일렉트론 측은 "타이완 언론 보도 내용을 인지하고 있다"며 "검찰 수사를 받고 있는지에 대해서는 언급하지 않겠다"고 밝혔다. 타이완 검찰도 "현재 조사 중인 사안으로 구체적인 답변은 어렵다. 향후 조사 진전에 따라 공개할 예정"이라고 전했다.

아울러 타이완 언론에서 거론한 한국 장비업체도 실명이나 구체적인 혐의 내용은 나오지 않았다.